3D成像显微镜

      神影 Miracle Vision系列提供了非接触的表面形貌测量，具有极高的可重复性，可广泛应用于半导体芯片、光学透镜、金属表面、汽车涂层、MEMS器件等广泛精密加工行业的形貌、粗造度长度、曲率、深度、体积、颗粒分布等形貌测量，同样适用于航天、医疗、材料、科学研究领域。可检测各种粗糙度、各种反射率的器件表面，检测器件的表面尺寸从纳米、微米到毫米，都可由同一台设备完成，提供主流的国内外标准下，上百种测量参数，将观测细节可视化、数据化，一次完成。

产品特色

• 白光干涉仪、共聚焦显微镜、超景深显微镜、明场显微镜四合一
• 表面粗糙度重复精度高达01nm
• 垂直方向测量精度可达1nm
• 支持样品尺寸可达1000mm及以上
• 配备智能调平和自动找焦功能
• 一体化集成紧凑设计，便捷稳定

产品参数

产品应用

• 半导体领域：在半导体制造过程中，白光干涉显微镜可以用来测量芯片表面的形貌，检测缺陷和杂质，对于确保芯片的质量和性能以及优化工艺参数等方面具有重要意义。

• 材料科学领域：在材料科学研究中，白光干涉显微镜可用于分析材料表面的微观结构和形貌变化，研究材料的力学性能和表面特性，推动材料科学的进步与发展。

• 纳米技术领域：在纳米技术研究中，白光干涉显微镜可用于测量纳米结构和纳米材料的表面形貌，探索纳米材料的性质和应用。

• 光学元件领域：在光学元件制造过程中，白光干涉显微镜可用于测量光学元件表面的形貌和光学特性，为光学系统的设计和优化提供关键数据，确保光学元件的精度和性能。